适用工艺：CF、Array、TP 等
适用基板尺寸：All Size
适用基板厚度：≥0.3mm
刻蚀类型：Oscilation Type Shower
装备类型：I Type，U Type，Line Type，Custom Made
工艺能力：
1.High Uniformity Ultra-low Pressure Spray ；
2.Excellent Process Reliability，High CD Uniformity ；
3.Defoaming Management ；
4.No Mist, No Roller Mark, No Contamination And No Scratch ；
5.Low Running Cost 。
