洗濯质量:INC无mura、水痕、锈斑、脏污,无损伤
平展度:百微米级
Total Pitch转变:微米级
Defect数目:10ea
搬送重复精度:毫米级
温度稳固性:±1°(60°以内)
超声波:4波段复频超声波,频率可自由切换
球面波超声手艺,无死角


尊龙凯时装备从G2.5到G6及以上尺寸掩模版洗濯机装备的自主研发研发
洗濯质量:INC无mura、水痕、锈斑、脏污,无损伤
平展度:百微米级
Total Pitch转变:微米级
Defect数目:10ea
搬送重复精度:毫米级
温度稳固性:±1°(60°以内)
超声波:4波段复频超声波,频率可自由切换
球面波超声手艺,无死角
